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德國SPS-EUROPE勻膠機

簡要(yao)描述:德國SPS-EUROPE勻(yun)膠(jiao)機具有轉(zhuan)速穩定,啟動快速,涂膠(jiao)一致性和均(jun)勻(yun)性好等(deng)特點,廣泛應用(yong)于半(ban)導體(ti)、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等(deng)工藝制版表面涂覆(fu)。

  • 產品(pin)型號:SPN150i
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-05-23
  • 訪  問  量:2095

詳細介紹

品牌其他品牌價格區間面議
產地類別進口應用領域化工,生物產業,地礦

工作原理

勻膠(jiao)機(spin coater)的(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理是高速旋轉基片(pian)(pian),利(li)用離心(xin)力使滴在(zai)基片(pian)(pian)上(shang)的(de)(de)(de)膠(jiao)液均勻的(de)(de)(de)涂在(zai)基片(pian)(pian)上(shang),勻膠(jiao)機常用于(yu)各種溶膠(jiao)凝膠(jiao)(Sol-Gel)實驗中的(de)(de)(de)薄膜制作(zuo),厚度(du)視不同(tong)膠(jiao)液和(he)基片(pian)(pian)間(jian)的(de)(de)(de)粘滯系(xi)數而不同(tong),也和(he)旋轉速度(du)及(ji)時間(jian)有關。

*特征

  • 可(ke)編(bian)程全尺寸(cun)彩色觸摸(mo)屏控(kong)制器,可(ke)拆卸,耐化(hua)學試(shi)劑腐(fu)蝕;速度(du)、加速和時間(jian)可(ke)編(bian)程;無*程序(xu)存儲空間(jian),可(ke)存儲旋涂多步驟(zou)工(gong)作(zuo)協議(yi);具有協議(yi)密(mi)保功(gong)能;
  • 可編程轉速范圍(wei): 1rpm-12,000rpm;轉(zhuan)速(su)參數設置(zhi)范圍廣;高精確性旋轉(zhuan)速(su)度 (± 0.1 rpm);
  • 數(shu)字(zi)電機控制(zhi),帶增速數(shu)字(zi)顯示信號反饋,以避免轉(zhuan)速過量,從而提(ti)升涂(tu)膜的品(pin)質;
  • 防靜電(dian)PET透明襯套,杜(du)絕工(gong)作倉室(shi)的交(jiao)叉污染;
  • 一體(ti)化(hua)結構設計,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材(cai)質,傳(chuan)動系統(tong)采用工程塑(su)料材(cai)質,壽命長耐腐(fu)蝕;
  • 采用(yong)經過(guo)熱處理(li)透(tou)明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈(dan)簧可(ke)自動將蓋子(zi)固(gu)定在(zai)理(li)想位(wei)置;玻璃蓋上(shang)帶注射器(qi)固(gu)定架和氮氣擴(kuo)散器(qi),注射器(qi)固(gu)定架以固(gu)定的位(wei)移距(ju)離和位(wei)置注入抗(kang)蝕劑(ji)/化學試(shi)劑(ji);氮氣擴(kuo)散器(qi)在(zai)旋涂過(guo)程(cheng)可(ke)注入到工(gong)作艙氮氣/氬(ya)氣;工(gong)作艙環境可(ke)控(kong);
  • 安(an)全互鎖(suo)裝(zhuang)置:工作艙(cang)蓋(gai)鎖(suo)止(zhi);艙(cang)蓋(gai)打開旋(xuan)轉自動(dong)停(ting)止(zhi);真(zhen)空不足(zu)或沒有真(zhen)空旋(xuan)轉自動(dong)停(ting)止(zhi);過載保護;
  • USB端口:可上傳和下(xia)載旋涂協議和軟(ruan)件(jian);
  • 三個外接(jie)(jie)控(kong)制端口,可用于接(jie)(jie)入注入單元自動控(kong)制,氮(dan)氣擴散器控(kong)制等(deng)(deng)等(deng)(deng);
  • 產品通過CE認證。

 

技術(shu)參數

 

 

SPN150i

SPN200i

控制方式

全彩觸(chu)摸屏控(kong)制界面

全(quan)彩觸摸屏控制(zhi)界面

結構材質

聚丙烯(NPP-H)材質

聚丙烯(xi)(NPP-H)材(cai)質(zhi)

旋(xuan)轉速度

1-12000rpm ±1rpm steps

1-12000rpm ±1rpm steps

旋轉(zhuan)精度

±0.1rpm

±0.1rpm

旋轉方向

順時(shi)針,逆時(shi)針,交換擺動

順時針,逆時針,交換擺動(dong)

加(jia)速(su)/減速(su)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

1-30,000rpm/秒 (每步可選)

旋轉時間(jian)

 0.1-99999秒(miao)/步

 0.1-99999秒/步(bu)

基片范圍

160mm 或(huo)6"直徑或(huo)4"x4"方片

260mm 或6"直(zhi)徑或6"x6"方片

腔體直徑

202mm

302mm

外接控制端口(kou)

3個

3個

真空開關

外形尺寸(cun)

27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

380x559x307cm(WxDxH)

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