CIF勻膠機

CIF勻膠機轉速穩定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結構緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

勻膠機產(chan)品特點

u 采用閉環控制伺(si)服電機，數字式增速(su)信號反饋，速(su)勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

u 5寸全彩(cai)觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻(yun)膠梯度(du)階段（速度(du)和(he)時間梯度(du)設(she)置），可(ke)選配10個(ge)可(ke)編程(cheng)(cheng)程(cheng)(cheng)序(xu)，每(mei)個(ge)程(cheng)(cheng)序(xu)下可(ke)設(she)置10個(ge)勻膠(jiao)梯(ti)度階段，多(duo)100個(ge)階段。

u 內置水平(ping)校準(zhun)裝置，大限(xian)度(du)的(de)保證旋(xuan)涂均勻，可對大小不同規(gui)格(ge)的(de)基片進(jin)行旋(xuan)涂。

u 多重安全保護

電磁安全(quan)開(kai)關，蓋子(zi)打開(kai)卡(ka)盤停止，保證安全(quan)；

蓋子自鎖(suo)功能(neng)，防(fang)止飛片蓋傷人；

雙重安(an)全上(shang)蓋(gai)，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或(huo)者亞克(ke)力上蓋飛片傷(shang)人，大限度保(bao)證實驗人員安全。

u 一機兩用(yong)，根(gen)據(ju)不(bu)同(tong)樣品(pin)可選真空吸盤(pan)和非真空(kong)卡(ka)盤(pan)兩(liang)種旋涂(tu)模式。

u 不銹(xiu)鋼噴塑涂(tu)層旋涂殼體(ti)，PTFE旋涂(tu)腔體，聚丙烯（NPP-H）旋(xuan)涂(tu)托(tuo)盤，PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋，耐(nai)酸堿防腐蝕，保證儀器在(zai)苛(ke)刻條件下(xia)仍(reng)能(neng)正常(chang)運行。

u 適用硅片、玻璃(li)、石(shi)英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

勻膠機技術參數(shu)