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簡要描述：CIF 推出的(de)中試(shi)生產型(xing)等離子清洗(xi)機(ji)是(shi)為研發(fa)型(xing)客(ke)戶和工業級客(ke) 戶而(er)設計的(de)等離子體(ti)表面處理設備。配置豐富， 且真空腔體(ti)里(li)可分層， 適合(he)大多數生產場(chang)景清洗(xi)，活(huo)化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環境(jing)下 穩定運行(xing)，產品性(xing)(xing)能穩定，樣品處理重復(fu)性(xing)(xing)、一致性(xing)(xing)好。
產品型號：CPC15/35/80/120/150廠商性質(zhi)：生產廠家更新(xin)時間：2024-03-26訪(fang) 問 量：1808產品分類
Product Category詳細介紹
| 品牌 | CIF | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源,電子 |
產品特點
◆ 7 寸(cun)彩色(se)觸摸屏中(zhong)英文互動(dong)(dong)操作(zuo)界面(mian)，自(zi)動(dong)(dong)監測工藝參數(shu)狀態(tai)，20 個(ge)配(pei)方(fang)程序，可存儲、輸出、追溯工藝數(shu)據。
◆ PLC 工控機控制(zhi)整個(ge)清(qing)洗(xi)過程(cheng)，手動、自(zi)動兩種工作(zuo)模式。
◆ 采用質量流量計(ji)， 氣體流量控制更準確(que)。標配雙(shuang)路氣體輸送系統， 可(ke)選多氣(qi)路氣(qi)體輸(shu)送系統(tong)。可(ke)輸(shu)入氧氣(qi)、氬氣(qi)、氮氣(qi)、 四氟化(hua)碳、氫氣(qi)或混合氣(qi)體等氣(qi)體。
◆ 采(cai)用多孔道進(jin)氣方(fang)式(shi)，改變傳統等離子清洗機單孔進(jin)氣不均勻問題。
◆ HEPA 高(gao)效過濾，氣體返填吹掃，防(fang)止二次污染。
◆ 316 不(bu)銹(xiu)鋼真空艙，潔凈無污(wu)染。
◆ 全真空管路系統(tong)采用 316 不銹鋼材質。
◆ 處理高效均勻，效率(lv)高，工藝(yi)重復性好。
◆ 合理(li)的結(jie)構設(she)計(ji)，設(she)備占用空間小(xiao)。
◆ 可處理各種材質、形狀(zhuang)、尺(chi)寸(cun)樣品。
◆ 樣品處理溫度(du)低，無熱損傷和(he)熱氧化。
◆ 使(shi)用成本低、耗損小。
◆ 產(chan)品性能穩定，安裝(zhuang)維護，簡單方便。
◆ 安全保護，艙門打開，自動(dong)關閉電(dian)源(yuan)。
◆ 機器運(yun)行、停止提示。
技(ji)術參(can)數
型號 | CPC15 | CPC35 | CPC80 | CPC120 | CPC150 |
艙體尺寸(cun) | W240xH240 xD260mm | W320xH320 xD350mm | W420xH400 xD500mm | W500xH500 xD450mm | W500xH500 xD600mm |
艙體容積(ji) | 15L | 35L | 80L | 120L | 150L |
艙體材質 | 不銹鋼 | 不銹(xiu)鋼 | 不(bu)銹鋼 | 不銹(xiu)鋼 | 不銹鋼 |
有效尺寸 | W240xD230mm | W320xD323mm | W420xD468mm | W500xxD420mm | W500xxD565mm |
電(dian)極分布 | 2 層 | 3-4 層 | 6 層(ceng) | 8-10 層 | 10-15 層 |
射頻電(dian)源 | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz | 13.56MHz |
射頻功(gong)率 | 0-300W | 0-300W | 0-600W | 0-1000W | 0-1000W |
匹配器 | 自動匹(pi)配器 | ||||
| 電容式 | ||||
電(dian)流 | 1.2A | ||||
時間設定 | 9999 秒 | ||||
氣體(ti)穩定 時間 | 1 分鐘(zhong) | ||||
真空度 | 100pa 以內 | ||||
控制系統 | 7 寸 PLC 觸(chu)摸屏(ping)控制 | ||||
工藝氣體(ti) | 2 氣路 MFC （可選裝 3 路） | ||||
產品(pin)尺寸 | L625xW600 xH760mm | L625xW600 xH805mm | L905xW845 xH1940mm | L625xW600 xH760mm | L905xW845 xH2010mm |
包裝尺寸 | L740xW775 xH1000mm | L740xW775 xH1045mm | L1015xW1065 xH2050mm | L1015xW1065 xH2120mm | L1015xW1065 xH2120mm |
真空泵 | 抽速(su)約 8m3/h | 抽速 16m3/h | 抽速 40m3/h | 抽速 60m3/h | 抽速約 60m3/h |
電源 | AC220V 50/60Hz 552W | AC220V 50/60Hz 552W | AC380V 50/60Hz 902W | AC380V 50/60Hz 1302W | AC380V 50/60Hz 1302W |
整機重量 | 108kg | 135kg | 465kg | 485kg | 575kg |
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