產品特點

◆  采用閉(bi)環控制伺服電機，數字(zi)式(shi)增速信號(hao)反饋(kui)，速勻準確，壽命(ming)長，保證(zheng)勻膠均勻。

◆  7 寸全彩中(zhong)英文(wen)互動操作觸摸屏，智能程(cheng)序化可編程(cheng)操控(kong)顯示(shi)，標配 10 個(ge)勻膠梯(ti)度階段（速(su)度和(he)時間梯(ti)度設置） ，可 選配 20 個可編程程序，每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段，最多 100 個階段。

◆  內置水平校準裝置，大限度的保證(zheng)旋涂均勻(yun)，可對大小不同規格的基(ji)片進行旋涂(tu)。

◆  多重安全保(bao)護電磁安全(quan)開(kai)關，蓋子打開(kai)卡盤停止，保(bao)證安全(quan)；蓋(gai)子自鎖功(gong)能，防止(zhi)飛(fei)片蓋(gai)彈開傷人(ren)；

雙重安(an)全上蓋，聚(ju)四氟嵌鑲鋼化玻璃，避(bi)免單一玻璃或者亞(ya)克(ke)力上蓋飛片傷人，大限(xian)度保證(zheng)實驗人員安(an)全。

◆  樣品(pin)托盤(pan)卡口和樣品(pin)托盤(pan)之間三重密封安全保護，有(you)效降低電機進膠的風(feng)險。

◆  一機兩用，根據(ju)不同樣品(pin)可選真空(kong)吸(xi)盤和非真空(kong)卡盤兩種(zhong)旋涂方式。

◆  符合人體(ti)功能(neng)學的水平取放樣品旋涂托盤(pan)設計，取放樣品更方便(bian)。

◆  不銹鋼噴塑涂(tu)層旋(xuan)涂(tu)殼體(ti)，旋(xuan)涂(tu)腔(qiang)體(ti)采用(yong) PTFE 材(cai)料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材(cai)料，耐酸堿防(fang)腐蝕(shi)，保(bao)證儀器(qi) 在苛刻條件下仍能正(zheng)常(chang)運(yun)行(xing)。

◆  上下雙腔(qiang)(qiang)體(ti)設計，較大(da)的上腔(qiang)(qiang)體(ti)便于(yu)擦拭去除膠(jiao)液，錐形下腔(qiang)(qiang)體(ti)結構設計便于(yu)收集膠(jiao)液，并帶廢膠(jiao)收集裝置。

◆  可選氮氣吹掃(sao)、氮氣保護，自動滴(di)膠(jiao)或(huo)簡易(yi)滴(di)膠(jiao)裝置，提供更多(duo)的操作(zuo)便利(li)性。

◆  適用硅片(pian)、玻璃、石(shi)英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

 技(ji)術參數